| http://dbpedia.org/ontology/abstract
|
Un stepper és un dispositiu utilitzat en l … Un stepper és un dispositiu utilitzat en la fabricació de circuits integrats que és similar en funcionament a un projector de portaobjectes o una ampliadora fotogràfica. El terme "stepper" és una abreviatura de càmera de pas-i-repetició. Els steppers són una part essencial del complex procés, anomenat fotolitografia, que crea milions d'elements microscòpics de circuit sobre la superfície de xips minúsculs de silici. Aquests xips formen el cor dels circuits integrats com a processadors d'ordinador, xips de memòria, i molts altres dispositius.ps de memòria, i molts altres dispositius.
, السائر (بالإنجليزية: Stepper) هو جهاز يستخ … السائر (بالإنجليزية: Stepper) هو جهاز يستخدم في صناعة الدوائر المتكاملة (ICs) مشابه في عمله لجهاز عرض الشرائح أو المكبر التصوير الفوتوغرافي، التي تشكل جزءا أساسيا من عملية معقدة، وتسمى الطباعة الضوئية، والتي يقوم بإنشاء الملايين من عناصر الدائرة ميكروسكوبية على سطح رقائق صغيرة من السيليكون، هذه الرقائق تمثل قلب الدوائر المتكاملة مثل معالجات الكمبيوتر، ورقائق الذاكرة، والعديد من الأجهزة الأخرى.ورقائق الذاكرة، والعديد من الأجهزة الأخرى.
, Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in de … Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip zur fotolithografischen Strukturierung einer Fotolackschicht, einem der wichtigsten Teilprozesse der komplexen Herstellung von integrierten Schaltkreisen, auch Mikrochips genannt. Wichtigstes Merkmal von Steppern ist die Belichtung des Wafers in mehreren gleichen Schritten mit einer Maske. Wafer sind dünne Halbleiterscheiben, auf deren Oberfläche die integrierten Schaltkreise aufgebaut werden.Weitere Belichtungsverfahren sind die 1:1-Belichtung (siehe Mask Aligner) und die Belichtung mittels -Anlagen.gner) und die Belichtung mittels -Anlagen.
, A stepper is a device used in the manufact … A stepper is a device used in the manufacture of integrated circuits (ICs) that is similar in operation to a slide projector or a photographic enlarger. Stepper is short for step-and-repeat camera. Steppers are an essential part of the complex process, called photolithography, which creates millions of microscopic circuit elements on the surface of chips of silicon. These chips form the heart of ICs such as computer processors, memory chips, and many other devices. The stepper emerged in the late 1970s but did not become widespread until the 1980s. This was because it was replacing an earlier technology, the mask aligner. Aligners imaged the entire surface of a wafer at the same time, producing many chips in a single operation. In contrast, the stepper imaged only one chip at a time, and was thus much slower to operate. The stepper eventually displaced the aligner when the relentless forces of Moore's Law demanded that smaller feature sizes be used. Because the stepper imaged only one chip at a time it offered higher resolution and was the first technology to the 1 micron limit. The addition of auto-alignment systems reduced the setup time needed to image multiple ICs, and by the late 1980s, the stepper had almost entirely replaced the aligner in the high-end market. The stepper was itself replaced by the step-and-scan systems (scanners) which offered an additional order of magnitude resolution advance, and work by scanning only a small portion of the mask for an individual IC, and thus require much longer operation times than the original steppers. These became widespread during the 1990s and essentially universal by the 2000s. Today, step-and-scan systems are so widespread that they are often simply referred to as steppers. are often simply referred to as steppers.
, 曝光機（英語：Mask Aligner）是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圓；以及利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机（英語：stepper）或扫描式光刻机（英語：scanner），获得比模板更小的曝光图样。
, Un stepper (Tecnología de semiconductores) … Un stepper (Tecnología de semiconductores) es un dispositivo utilizado en la fabricación de circuitos integrados que es similar en funcionamiento a un proyector de portaobjetos o una ampliadora fotográfica. El término stepper es una abreviatura de «cámara de paso y repetición». Los steppers son una parte esencial del complejo proceso denominado fotolitografia, que crea millones de elementos microscópicos de circuito sobre la superficie de chips minúsculos de silicio. Estos chips forman el núcleo de los circuitos integrados como procesadores de ordenador, chips de memoria, y muchos otros dispositivos.s de memoria, y muchos otros dispositivos.
, ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光 … ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動（ステップ）しながら投影露光する。1つの露光エリアを露光する際にレチクルとウェハと固定して露光する装置と、レチクルとウェハーを同時に動かして露光する装置とがある。前者を「アライナー」、後者を「スキャナー」と呼ぶことが多い。後者のタイプは特性の良いレンズ中心部分を使用して露光することができるので微細化に向いているが、レチクルとウェハーを精密に同期させて露光する必要があるため構造が複雑となり、装置の価格も高価である。また、近年の微細化に対応するために投影レンズとウェハーの間の空間を液体で満たす液浸という方式も実用化されている。なお、2019年現在、液浸には超純水が用いられている。液浸方式に於いては水のレジストへの影響を避けるためにトップコートと呼ばれる保護膜を塗布することが一般的である。トップコートの撥水性能が低いとステッパーの生産性を制約してしまうことから、薬液メーカによる撥水性能の開発競争が加速している。 なお、露光装置は要する精密制御技術、中核パーツである光学系と光源（レーザー）の技術（そして実は半導体全般）が軍事技術と深く繋がっているほど「史上最も精密な機械」、「兵器」とも言われる。一世を風靡したパーキンエルマー社の露光装置事業が米空軍の要請によって始まった経緯もあるし、今でも先端スキャナーの光源はワッセナー・アレンジメントで規制される。なので、戦前から存在する複数のメーカーが参加している現状はただの偶然ではない。 ステッパーの性能（最小線幅、単位時間毎の処理枚数）は半導体産業の競争力に直結するため、各社が鎬を削っている。幅、単位時間毎の処理枚数）は半導体産業の競争力に直結するため、各社が鎬を削っている。
, Степпер (англ. stepper) — литографическая … Степпер (англ. stepper) — литографическая установка, использующаяся при изготовлении полупроводниковых интегральных схем. На них проводится важнейший этап проекционной фотолитографии — засветка фоторезиста через маску (принцип работы схож с диапроекторами и фотоувеличителями, однако степперы уменьшают изображение с маски (фотошаблона), обычно в 4-6 раз). В процессе работы степпера рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины. Также могут называться «установки проекционного экспонирования и мультипликации», «проекционная система фотолитографии», «проекционная литографическая установка», «установка совмещения и экспонирования». Работа степпера над каждой полупроводниковой пластиной состоит из двух этапов:
* позиционирование
* экспонирование Своё название степпер (от англ. step — шаг) получил из-за того, что каждое экспонирование производится небольшими прямоугольными участками (порядка нескольких см²); для экспонирования всей пластины её передвигают шагами, кратными размеру экспонируемой области (процесс step-and-repeat). После каждого передвижения проводится дополнительная проверка правильности позиционирования. Современные литографические установки могут использовать не шаговый, а сканирующий режим работы; они называются «сканнеры» (step-and-scan). При экспонировании передвигаются в противоположных направлениях и пластина и маска, скорость сканирования масок до 2000 мм/с, пластины - до 500 мм/с. Луч света имеет форму линии или сильно вытянутого прямоугольника (например использовались лучи с сечением 9×26 мм для экспонирования полей размером 33x26 мм). В конце 2010-х ширина полосы засвета составляла около 24-26 мм, длина засвечиваемой области до 33 мм (требования ITRS - 26х33 мм для 193-нм оборудования). Типичные размеры маски — около 12х18 см, масштабирование в 4 раза. около 12х18 см, масштабирование в 4 раза.
, ( 모터의 일종에 대해서는 스테퍼모터 문서를 참고하십시오.) 스테퍼(step … ( 모터의 일종에 대해서는 스테퍼모터 문서를 참고하십시오.) 스테퍼(stepper)는 슬라이드 영사기나 사진 확대기의 운용과 비슷한 방식의 집적 회로 제조에 사용되는 장치이다. 스테퍼라는 용어는 "step-and-repeat camera"의 줄인말이다. 스테퍼는 이라는 복잡한 프로세스의 필수적인 부분으로, 실리콘 칩 표면에 수백만의 미세 회로 엘리먼트를 생성한다. 이 칩들은 컴퓨터 프로세서, 메모리 칩, 기타 수많은 장치들의 IC의 핵심부를 구성한다. 스테퍼는 1970년대 말에 공개되었지만 1980년대 말 이후 들어서야 보편화되기 시작했다. 그 이유는 더 오래된 기술을 대체하는 과정에 있었기 때문이었다. 시작했다. 그 이유는 더 오래된 기술을 대체하는 과정에 있었기 때문이었다.
|
| http://dbpedia.org/ontology/thumbnail
|
http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Autostep_i-line_stepper.jpg?width=300 +
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageID
|
2284519
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageLength
|
18425
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageRevisionID
|
1124812441
|
| http://dbpedia.org/ontology/wikiPageWikiLink
|
http://dbpedia.org/resource/Electron_beam +
, http://dbpedia.org/resource/Category:Lithography_%28microfabrication%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Immersion_lithography +
, http://dbpedia.org/resource/Power_supply +
, http://dbpedia.org/resource/Robot +
, http://dbpedia.org/resource/Chrome_plating +
, http://dbpedia.org/resource/Nanoimprint_lithography +
, http://dbpedia.org/resource/Linear_motor +
, http://dbpedia.org/resource/ASML_Holding +
, http://dbpedia.org/resource/Slide_projector +
, http://dbpedia.org/resource/Semiconductor_device_fabrication +
, http://dbpedia.org/resource/Extreme_ultraviolet_lithography +
, http://dbpedia.org/resource/Resolution_enhancement_techniques +
, http://dbpedia.org/resource/Worm_gear +
, http://dbpedia.org/resource/Intel +
, http://dbpedia.org/resource/Ultraviolet +
, http://dbpedia.org/resource/Light +
, http://dbpedia.org/resource/Microscope +
, http://dbpedia.org/resource/Photoresist +
, http://dbpedia.org/resource/Air +
, http://dbpedia.org/resource/Spectrum +
, http://dbpedia.org/resource/Photolithography +
, http://dbpedia.org/resource/X-ray +
, http://dbpedia.org/resource/Numerical_aperture +
, http://dbpedia.org/resource/Silicon_wafer +
, http://dbpedia.org/resource/Integrated_circuit +
, http://dbpedia.org/resource/Water +
, http://dbpedia.org/resource/Refractive_index +
, http://dbpedia.org/resource/File:Explanation_of_OAI.png +
, http://dbpedia.org/resource/Excimer_laser +
, http://dbpedia.org/resource/Geophysical_Corporation_of_America +
, http://dbpedia.org/resource/Stepping_level +
, http://dbpedia.org/resource/Rudolph_Technologies +
, http://dbpedia.org/resource/Quartz +
, http://dbpedia.org/resource/Optical_resolution +
, http://dbpedia.org/resource/File:2D_Illumination_requirement.png +
, http://dbpedia.org/resource/File:Different_orientation_illuminations.png +
, http://dbpedia.org/resource/File:Autostep_i-line_stepper.jpg +
, http://dbpedia.org/resource/File:Stepper.gif +
, http://dbpedia.org/resource/Phase_shifting +
, http://dbpedia.org/resource/Moore%27s_law +
, http://dbpedia.org/resource/Order_of_magnitude +
, http://dbpedia.org/resource/Semiconductor +
, http://dbpedia.org/resource/Diffraction +
, http://dbpedia.org/resource/Enlarger +
, http://dbpedia.org/resource/Photomask +
, http://dbpedia.org/resource/Argon +
, http://dbpedia.org/resource/Moore%27s_Law +
, http://dbpedia.org/resource/Energy +
, http://dbpedia.org/resource/Solvent +
, http://dbpedia.org/resource/Stepper +
, http://dbpedia.org/resource/Aligner_%28semiconductor%29 +
, http://dbpedia.org/resource/SUSS_MicroTec +
, http://dbpedia.org/resource/Ultratech%2C_Inc. +
, http://dbpedia.org/resource/Nikon +
, http://dbpedia.org/resource/Krypton_fluoride_laser +
, http://dbpedia.org/resource/Boule_%28crystal%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Electromagnetism +
, http://dbpedia.org/resource/Canon_%28company%29 +
, http://dbpedia.org/resource/Coefficient +
, http://dbpedia.org/resource/Wavelength +
, http://dbpedia.org/resource/Air_conditioning +
, http://dbpedia.org/resource/Mercury_%28element%29 +
|
| http://dbpedia.org/property/wikiPageUsesTemplate
|
http://dbpedia.org/resource/Template:Other_uses +
, http://dbpedia.org/resource/Template:For +
, http://dbpedia.org/resource/Template:Center +
, http://dbpedia.org/resource/Template:More_citations_needed +
|
| http://purl.org/dc/terms/subject
|
http://dbpedia.org/resource/Category:Lithography_%28microfabrication%29 +
|
| http://purl.org/linguistics/gold/hypernym
|
http://dbpedia.org/resource/Device +
|
| http://www.w3.org/ns/prov#wasDerivedFrom
|
http://en.wikipedia.org/wiki/Stepper?oldid=1124812441&ns=0 +
|
| http://xmlns.com/foaf/0.1/depiction
|
http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Stepper.gif +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Autostep_i-line_stepper.jpg +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Different_orientation_illuminations.png +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/2D_Illumination_requirement.png +
, http://commons.wikimedia.org/wiki/Special:FilePath/Explanation_of_OAI.png +
|
| http://xmlns.com/foaf/0.1/isPrimaryTopicOf
|
http://en.wikipedia.org/wiki/Stepper +
|
| owl:sameAs |
https://global.dbpedia.org/id/iPf4 +
, http://dbpedia.org/resource/Stepper +
, http://es.dbpedia.org/resource/Stepper +
, http://www.wikidata.org/entity/Q1751548 +
, http://ca.dbpedia.org/resource/Stepper +
, http://de.dbpedia.org/resource/Stepper_%28Halbleitertechnik%29 +
, http://rdf.freebase.com/ns/m.070vw3 +
, http://ar.dbpedia.org/resource/%D8%B3%D8%A7%D8%A6%D8%B1_%28%D8%AC%D9%87%D8%A7%D8%B2%29 +
, http://ko.dbpedia.org/resource/%EC%8A%A4%ED%85%8C%ED%8D%BC +
, http://ru.dbpedia.org/resource/%D0%A1%D1%82%D0%B5%D0%BF%D0%BF%D0%B5%D1%80 +
, http://ja.dbpedia.org/resource/%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91%E3%83%BC +
, http://zh.dbpedia.org/resource/%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA +
|
| rdf:type |
http://dbpedia.org/ontology/Device +
|
| rdfs:comment |
A stepper is a device used in the manufact … A stepper is a device used in the manufacture of integrated circuits (ICs) that is similar in operation to a slide projector or a photographic enlarger. Stepper is short for step-and-repeat camera. Steppers are an essential part of the complex process, called photolithography, which creates millions of microscopic circuit elements on the surface of chips of silicon. These chips form the heart of ICs such as computer processors, memory chips, and many other devices.ors, memory chips, and many other devices.
, Un stepper (Tecnología de semiconductores) … Un stepper (Tecnología de semiconductores) es un dispositivo utilizado en la fabricación de circuitos integrados que es similar en funcionamiento a un proyector de portaobjetos o una ampliadora fotográfica. El término stepper es una abreviatura de «cámara de paso y repetición». Los steppers son una parte esencial del complejo proceso denominado fotolitografia, que crea millones de elementos microscópicos de circuito sobre la superficie de chips minúsculos de silicio. Estos chips forman el núcleo de los circuitos integrados como procesadores de ordenador, chips de memoria, y muchos otros dispositivos.s de memoria, y muchos otros dispositivos.
, 曝光機（英語：Mask Aligner）是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圓；以及利用短波长激光和类似投影机原理的步进式光刻机（英語：stepper）或扫描式光刻机（英語：scanner），获得比模板更小的曝光图样。
, Степпер (англ. stepper) — литографическая … Степпер (англ. stepper) — литографическая установка, использующаяся при изготовлении полупроводниковых интегральных схем. На них проводится важнейший этап проекционной фотолитографии — засветка фоторезиста через маску (принцип работы схож с диапроекторами и фотоувеличителями, однако степперы уменьшают изображение с маски (фотошаблона), обычно в 4-6 раз). В процессе работы степпера рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины. Работа степпера над каждой полупроводниковой пластиной состоит из двух этапов:
* позиционирование
* экспонированиепов:
* позиционирование
* экспонирование
, السائر (بالإنجليزية: Stepper) هو جهاز يستخ … السائر (بالإنجليزية: Stepper) هو جهاز يستخدم في صناعة الدوائر المتكاملة (ICs) مشابه في عمله لجهاز عرض الشرائح أو المكبر التصوير الفوتوغرافي، التي تشكل جزءا أساسيا من عملية معقدة، وتسمى الطباعة الضوئية، والتي يقوم بإنشاء الملايين من عناصر الدائرة ميكروسكوبية على سطح رقائق صغيرة من السيليكون، هذه الرقائق تمثل قلب الدوائر المتكاملة مثل معالجات الكمبيوتر، ورقائق الذاكرة، والعديد من الأجهزة الأخرى.ورقائق الذاكرة، والعديد من الأجهزة الأخرى.
, Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in de … Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip zur fotolithografischen Strukturierung einer Fotolackschicht, einem der wichtigsten Teilprozesse der komplexen Herstellung von integrierten Schaltkreisen, auch Mikrochips genannt. Wichtigstes Merkmal von Steppern ist die Belichtung des Wafers in mehreren gleichen Schritten mit einer Maske. Wafer sind dünne Halbleiterscheiben, auf deren Oberfläche die integrierten Schaltkreise aufgebaut werden.Weitere Belichtungsverfahren sind die 1:1-Belichtung (siehe Mask Aligner) und die Belichtung mittels -Anlagen.gner) und die Belichtung mittels -Anlagen.
, Un stepper és un dispositiu utilitzat en l … Un stepper és un dispositiu utilitzat en la fabricació de circuits integrats que és similar en funcionament a un projector de portaobjectes o una ampliadora fotogràfica. El terme "stepper" és una abreviatura de càmera de pas-i-repetició. Els steppers són una part essencial del complex procés, anomenat fotolitografia, que crea milions d'elements microscòpics de circuit sobre la superfície de xips minúsculs de silici. Aquests xips formen el cor dels circuits integrats com a processadors d'ordinador, xips de memòria, i molts altres dispositius.ps de memòria, i molts altres dispositius.
, ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光 … ステッパー（英語: stepper）とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動（ステップ）しながら投影露光する。1つの露光エリアを露光する際にレチクルとウェハと固定して露光する装置と、レチクルとウェハーを同時に動かして露光する装置とがある。前者を「アライナー」、後者を「スキャナー」と呼ぶことが多い。後者のタイプは特性の良いレンズ中心部分を使用して露光することができるので微細化に向いているが、レチクルとウェハーを精密に同期させて露光する必要があるため構造が複雑となり、装置の価格も高価である。また、近年の微細化に対応するために投影レンズとウェハーの間の空間を液体で満たす液浸という方式も実用化されている。なお、2019年現在、液浸には超純水が用いられている。液浸方式に於いては水のレジストへの影響を避けるためにトップコートと呼ばれる保護膜を塗布することが一般的である。トップコートの撥水性能が低いとステッパーの生産性を制約してしまうことから、薬液メーカによる撥水性能の開発競争が加速している。 ステッパーの性能（最小線幅、単位時間毎の処理枚数）は半導体産業の競争力に直結するため、各社が鎬を削っている。幅、単位時間毎の処理枚数）は半導体産業の競争力に直結するため、各社が鎬を削っている。
, ( 모터의 일종에 대해서는 스테퍼모터 문서를 참고하십시오.) 스테퍼(step … ( 모터의 일종에 대해서는 스테퍼모터 문서를 참고하십시오.) 스테퍼(stepper)는 슬라이드 영사기나 사진 확대기의 운용과 비슷한 방식의 집적 회로 제조에 사용되는 장치이다. 스테퍼라는 용어는 "step-and-repeat camera"의 줄인말이다. 스테퍼는 이라는 복잡한 프로세스의 필수적인 부분으로, 실리콘 칩 표면에 수백만의 미세 회로 엘리먼트를 생성한다. 이 칩들은 컴퓨터 프로세서, 메모리 칩, 기타 수많은 장치들의 IC의 핵심부를 구성한다. 스테퍼는 1970년대 말에 공개되었지만 1980년대 말 이후 들어서야 보편화되기 시작했다. 그 이유는 더 오래된 기술을 대체하는 과정에 있었기 때문이었다. 시작했다. 그 이유는 더 오래된 기술을 대체하는 과정에 있었기 때문이었다.
|
| rdfs:label |
سائر (جهاز)
, Stepper
, Stepper (Halbleitertechnik)
, 스테퍼
, 光刻机
, ステッパー
, Степпер
|
